電鋳(エレクトロフォーミング)、スパッタリング、マスタ製作受託サービス

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電鋳

 電鋳(エレクトロフォーミング)技術は古くからある浴式電気めっき法です。しかしながらCD,DVDのスターンパー金型など微細なパターンを持つ金型として昨今は非常によく利用されています。当社では導光板、拡散板などの光学フィルムを成形するための光学関連の金型(スタンパー)を中心に幅広い分野の電鋳製品を製作しております。樹脂マスターからのNi電鋳品製作や金属マスターからのNi電鋳品製作、またNi電鋳品をマスターとしてさらに1回反転〜3回反転電鋳品などのレプリカ製作も行っております。

平面電鋳事例

【無電解Niでの切削マスタからのNi電鋳スタンパ製作例】  
マスタ素材 無電解Ni
マスタ外形 320mm*300mm、厚み30mm
電鋳厚み 300um
パターン 頂角90度 高さ7umのV溝


φ550nm、高さ250nmドット
【ナノインプリントした樹脂からのNi電鋳スタンパ製作例】
 1.マスタ金型(15mm角)     
 2.樹脂(φ200mm)へのステップ&リピート転写(電鋳マスタ)
 3.電鋳スタンパ製作   
マスタ素材 ポリカーボネート
マスタ外形 φ200mm、厚み5mm
電鋳厚み 300um
パターン 左記内には以下の6つのパターンが含まれています。
【凸状ライン&スペース】
・幅330nm、高さ250nm ピッチ1.0um
・幅250nm、高さ250nm ピッチ1.0um
・幅550nm、高さ250nm ピッチ2.0um
【凸状円柱】
・φ1um、高さ250nm ピッチ2um
・φ550nm、高さ250nm ピッチ1.5um
・φ350nm、高さ250nm ピッチ1.4um
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